清华大学精密仪器系获得“IC专项”2011年度产学研合作优秀奖

    12月22日，国家科技重大专项-极大规模集成电路制造装备及成套工艺（以下简称“IC专项”）年度工作总结暨部署大会在上海召开。由于在“IC专项”项目中良好的的研究进展特别是产学研合作方面取得的突出成绩，清华大学精密仪器系获得“IC专项”2011年度产学研合作优秀奖，成为本次表彰的12个单位中唯一的大学单位。清华大学科研院重大专项办副主任华琳代表清华大学接受了表彰。

　　本次会议的主要任务是传达、贯彻中央最新指示精神，总结2011年专项工作，交流经验，表彰先进，部署2013年专项工作，推进专项的组织实施，确保专项战略目标任务的实现。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林，专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明，科技部重大专项办公室主任许倞等专项领导及各相关地方政府主管部门领导、总体专家组全体成员、项目单位负责人等400余人出席会议。

　　清华大学承担了多项“IC专项”项目与课题，整体执行情况良好。其中，精仪系承担的光刻机双工件台样机研制项目是专项难度最大的项目之一。2011年接受了专项管理实施办公室专家和领导的多次现场检查，该项目2年多来的实施成效和进展得到了充分肯定。基于产学研紧密结合模式，清华大学联合了整机企业、高校、研究所等4家单位协调合作，重视自主创新突破，按进度计划稳步推进各项攻关工作，工程样机研制进入集成测试阶段，关键技术性能得到了初步验证。通过与整机单位的协同研发与技术对接，通过了最终样机的设计评审，满足整机的接口要求、设计约束和性能要求，进入制造阶段。